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    • MEMS0600T 系列高溫質量流量計

    • 5ml/min~500ml/min
      2L/min-250L/min
      8L/min-800L/mn
    產品描述
    功能
    規格參數
    訂貨信息
    附件
    圖表

    特點

    1.   質量流量計技術特點:新一代微機電(MEMS)技術,自適應信號處理技術,數值仿真技術設計。具有精度高、穩定性好、量程比寬、抗干擾、壓損小。
    2.   主要功能:流量數據采集/處理、記錄/顯示,滿足就地、遠程監測需求。 安裝方便,維護簡單。
    3.   適用范圍:氧氣O2 / 氮氣N2 / 氬氣Ar / 天然氣LNG 。通徑DN3-DN20,壓力0-2.5Mpa,溫度 -20-80°C
    4.   應用場合:醫療、制藥、半導體生產工藝過程如擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、以及真空鍍膜、光纖熔煉等;實驗室微反應裝置, 混氣配氣系統, 毛細管測量氣相色譜儀, 光纖制造工藝;石油化工、冶金、焊接等過程控制。

     

    MEMS0600系列微機電質量流量計 (MEMS Mass Flow Meter) 由傳感器、本體、信號處理模塊組成。

    傳感器是用CMOS半導體工藝制成微機電系統 (MEMS)。傳感器根據熱擴散原理設計, 芯片中央設加熱器, 加熱器的上下游分別配置熱電堆, 熱電堆附設基座測溫體。加熱器和熱電堆的底部設有空腔, 可高效檢測加熱器的熱量以及附近溫度場的變化。加熱元件導入恒定電流后, 其附近區域形成溫度場。介質無流動時,上下游熱電堆的溫差為零,介質流動時,上下游溫差發生變化,且溫差數值與質量流量大小呈正相關關系,通過測量溫差可反算出流體質量流量。傳感器采用熱擴散原理直接測量質量流量, 所以基本無需進行壓力、溫度補償,而且熱擴散原理應用縮小至毫米微米尺度, 因此該傳感器具有精度高、量程寬、靈敏度高的特點。

    流量計本體由主流道、測量流道、導向結構、過濾結構組成。經過理論計算、大量的數值仿真、實驗室實驗和現場實氣測試驗證完成設計。流道設計滿足經濟、高效、穩定、準確的測量目標。流道壓損小、氣流穩定、線性范圍寬。

    信號處理模塊采用性能優良、可靠性高的DSP進行設計。集成數字化自適應信號處理技術, 可有效抑制隨機誤差。模塊具有響應快、精度高、穩定性好的特點。提供便利的計量就地顯示,根據需要可提供RS485,4-20mA,NBIOT等數字和模擬信號輸出與數據遠傳。

    基本功能:

    瞬時流量顯示 (可靈活設置流量單位), 累積總量顯示(可靈活設置流量單位), 溫度, 流量計狀態監測, 傳感器狀態監測,用戶根據使用習慣可靈活設置顯示界面, 靈活選擇介質 (空氣、氧氣、氮氣、氬氣等氣體)。

    高級功能:

    可選配NB-IOT物聯模塊實現數據遠傳功能。實時記錄瞬時流量、總量、支持U盤存取。記錄瞬時流量的趨勢曲線、統計量。

    注:

    流量讀取基本功能可在質量流量計實現,高級功能需選配外接觸摸屏監測器實現。

    測量參數

    介質壓力(x 0.1MPa) 02, 03, 04, 06, 08, 10 
    介質溫度 -40~85°C, 可定制-40~200°C
    流量范圍 0.005SLPM ~ 250SLPM
    量程比 1:100
    響應時間 < 50 ms 
    精度 ±1.5% F.S.
    重復性 < 0.25% F.S.
    靈敏度 < 0.1% F.S. 

     

    電氣參數

    流量計功耗 < 0.3Watt
    電源 24VDC
    通訊 RS485 

     

    機械參數

    連接 1/8”, 3/8”, 1/2”,  3/4”卡套
    安裝 面板安裝, 導軌安裝
    尺寸 102x147x30
    重量 1.0Kg
    防護等級 IP54

     

    材質

    測量管 不銹鋼
    殼體 不銹鋼
    密封 丁腈、乙烯、丙烯、全氟橡膠、氯丁橡膠、氟化橡膠
    連接 不銹鋼

     

    MEMS06Axx-Bxx-Cxx-Dxx-Exx-Fxx-Gxx-Hxx

    A (mm)DN03, 06, 08, 10, 15,20

    B 適用介質:A空氣, N氮氣, O氧氣, R氬氣, C二氧化碳, xx訂制

    C 最大流量 (SLPM) 05, 10, 30, 100, 300,800

    D壓力(x 0.1MPa) 02, 04, 06. 08, 10

    E輸出通訊:01 數字量RS485, 02模擬量4~20mA, 03 NB-IOT

    F本體材質:01鋁合金, 02銅合金, 03 不銹鋼SUS304, 04 不銹鋼SUS316, 05 鈦合金

    G 連接:內螺紋NPT尺寸(1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”)

    H 安裝方式:01 一體式安裝, 02 分體式導軌安裝, 03 分體式面板嵌入安裝

    選型實例:

    MEMS0615-N-200-04-01-01-3/4-03

    微納熱式智能質量流量計0600系列, A通徑DN15, B介質為氮氣, C最大流量200SLPM, D壓力0.4MPa, E 數字量輸出RS485, F本體材料為鋁合金, G連接方式為標準NPT 3/4英寸內牙, H安裝方式為面板嵌入式安裝。

    型號

    管路連接螺紋尺寸

    通徑 (mm)

    長度(mm)

    寬度(mm)

    高度(mm)

    流量范圍(SLM)

    MEMS0620T

    Female G3/4"內螺紋

    20

    88

    38

    116

    20~1000

    MEMS0615T

    Female G1/2"內螺紋

    15

    88

    38

    116

    6~300

    MEMS0610T

    Female G3/8"內螺紋

    10

    88

    38

    101

    2~100

    MEMS0610T

    Female NPT 3/8"內螺紋

    10

    88

    38

    101

    2~100

    MEMS0610T

    Male LOK 3/8"

    雙卡套外螺紋

    10

    124

    38

    101

    2~100

    MEMS0606T

    Female NPT1/4"內螺紋

    6

    88

    38

    101

    1~50

    MEMS0606T

    Male LOK 1/4"

    雙卡套外螺紋

    6

    124

    38

    101

    1~50

    MEMS0603T

    Female NPT1/8"內螺紋

    3

    88

    38

    101

    0.04~2

    MEMS0603T

    Male LOK 1/8"

    雙卡套外螺紋

    3

    124

    38

    101

    0.04~2

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